劉俊伯,博士,中(zhong)科(ke)院光電(dian)技(ji)術(shù)研究所微電(dian)子(zi)裝(zhuang)備(bei)總體(ti)實驗(yàn)室,研究員(yuan),博士生(sheng)導(dao)師,主(zhu)要從(cong)事中(zhong)高(gao)節(jie)點投(tou)影光刻機(jī)相關核心技(ji)術(shù)研究。2017年(nian)入選西部(bu)之(zhi)光人(ren)才(cai)計(ji)劃,2020年(nian)入選中(zhong)國(guo)科(ke)學(xué)院青年(nian)創新(xin)促進(jin)會,獲創新(xin)基金計(ji)劃資(zi)助。
作(zuò)爲(wei)項(xiang)目(mu)負責人(ren),承(cheng)擔國(guo)傢(jia)重(zhong)點研髮(fa)計(ji)劃、國(guo)傢(jia)自然科(ke)學(xué)基金、四川省應用(yong)基礎研究(面上項(xiang)目(mu))、四川省融郃(he)類研究項(xiang)目(mu)等(deng)課題;作(zuò)爲(wei)主(zhu)要研究人(ren)員(yuan),參與多(duo)箇(ge)02專(zhuan)項(xiang)、國(guo)傢(jia)重(zhong)大(da)科(ke)研儀器(qi)裝(zhuang)備(bei)項(xiang)目(mu)的(de)研製(zhi)工(gong)作(zuò)。在(zai)上述項(xiang)目(mu)支持下,重(zhong)點開展(zhan)光刻機(jī)整機(jī)集(ji)成(cheng)、綜郃(he)像質(zhi)原位測(ce)試以(yi)及(ji)複雜投(tou)影光刻曝光係(xi)統等(deng)核心技(ji)術(shù)研究,在(zai)OPT EXPRESS、OPT LASER ENG等(deng)SCI期刊上髮(fa)表論文(wén)10餘篇,獲髮(fa)明專(zhuan)利授(shou)20餘項(xiang)。
組織團(tuán)隊(duì)成(cheng)功研製(zhi)UVSTEP係(xi)列化投(tou)影光刻裝(zhuang)備(bei),實現(xian)多(duo)檯(tai)套上線(xiàn)應用(yong)。特别在(zai)壓力(li)敏傳(chuan)感器(qi)領(ling)域(yu),該型投(tou)影光刻設(shè)備(bei)打破國(guo)外光刻裝(zhuang)備(bei)“卡脖子(zi)”現(xian)狀,産(chan)生(sheng)較好的(de)社(she))會、經(jing)濟效益。