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劉俊伯

  • 職稱:研究員(yuan)
  • 聯(lian)係(xi)電(dian)話(hua):
  • E-mail:ljbopt@126.com;liujunbo@ioe.ac.cn
  • 郵(you)政編碼:610209
  • 通(tong)訊地阯(zhi):四川成(cheng)都雙流西航港光電(dian)大(da)道1号
  • 招生(sheng)專(zhuan)業:精(jīng)密儀器(qi)及(ji)機(jī)械,集(ji)成(cheng)電(dian)路科(ke)學(xué)與工(gong)程(cheng),電(dian)子(zi)信(xin)息
  • 研究領(ling)域(yu):光刻曝光係(xi)統及(ji)測(ce)試技(ji)術(shù)、投(tou)影光刻整機(jī)關鍵技(ji)術(shù)、計(ji)算光刻技(ji)術(shù)

劉俊伯,博士,中(zhong)科(ke)院光電(dian)技(ji)術(shù)研究所微電(dian)子(zi)裝(zhuang)備(bei)總體(ti)實驗(yàn)室,研究員(yuan),博士生(sheng)導(dao)師,主(zhu)要從(cong)事中(zhong)高(gao)節(jie)點投(tou)影光刻機(jī)相關核心技(ji)術(shù)研究。2017年(nian)入選西部(bu)之(zhi)光人(ren)才(cai)計(ji)劃,2020年(nian)入選中(zhong)國(guo)科(ke)學(xué)院青年(nian)創新(xin)促進(jin)會,獲創新(xin)基金計(ji)劃資(zi)助。

作(zuò)爲(wei)項(xiang)目(mu)負責人(ren),承(cheng)擔國(guo)傢(jia)重(zhong)點研髮(fa)計(ji)劃、國(guo)傢(jia)自然科(ke)學(xué)基金、四川省應用(yong)基礎研究(面上項(xiang)目(mu))、四川省融郃(he)類研究項(xiang)目(mu)等(deng)課題;作(zuò)爲(wei)主(zhu)要研究人(ren)員(yuan),參與多(duo)箇(ge)02專(zhuan)項(xiang)、國(guo)傢(jia)重(zhong)大(da)科(ke)研儀器(qi)裝(zhuang)備(bei)項(xiang)目(mu)的(de)研製(zhi)工(gong)作(zuò)。在(zai)上述項(xiang)目(mu)支持下,重(zhong)點開展(zhan)光刻機(jī)整機(jī)集(ji)成(cheng)、綜郃(he)像質(zhi)原位測(ce)試以(yi)及(ji)複雜投(tou)影光刻曝光係(xi)統等(deng)核心技(ji)術(shù)研究,在(zai)OPT EXPRESS、OPT LASER ENG等(deng)SCI期刊上髮(fa)表論文(wén)10餘篇,獲髮(fa)明專(zhuan)利授(shou)20餘項(xiang)。

組織團(tuán)隊(duì)成(cheng)功研製(zhi)UVSTEP係(xi)列化投(tou)影光刻裝(zhuang)備(bei),實現(xian)多(duo)檯(tai)套上線(xiàn)應用(yong)。特别在(zai)壓力(li)敏傳(chuan)感器(qi)領(ling)域(yu),該型投(tou)影光刻設(shè)備(bei)打破國(guo)外光刻裝(zhuang)備(bei)“卡脖子(zi)”現(xian)狀,産(chan)生(sheng)較好的(de)社(she))會、經(jing)濟效益。